半導體存儲器件與電路

目　錄
譯者序
前言
致謝
作者簡介
第1章　半導體存儲器技術概述
1.1　存儲器層次結構介紹
1.1.1　澤級數據爆炸
1.1.2　存儲子系統(tǒng)中的存儲器層次結構
1.2　半導體存儲器產業(yè)
1.3　存儲陣列結構介紹
1.3.1　通用存儲陣列結構圖
1.3.2　存儲單元尺寸和等效比特面積
1.3.3　存儲陣列的面積效率
1.3.4　外圍電路：譯碼器、多路復用器和驅動器
1.3.5　外圍電路：靈敏放大器
1.4　工業(yè)界的技術發(fā)展趨勢
1.4.1　摩爾定律與邏輯電路微縮趨勢
1.4.2　工藝節(jié)點的定義和集成密度的測量標準
1.5　邏輯晶體管的工藝演變
參考文獻
第2章　靜態(tài)隨機存取存儲器（SRAM）
2.1　6T SRAM單元操作
2.1.1　SRAM陣列和6T單元
2.1.2　保持、讀取和寫入的原理
2.2　SRAM穩(wěn)定性分析
2.2.1　靜態(tài)噪聲容限
2.2.2　N曲線
2.2.3　動態(tài)噪聲容限
2.2.4　讀與寫的輔助方案
2.3　SRAM的漏電流
2.3.1　晶體管的亞閾值電流
2.3.2　降低SRAM的漏電流
2.4　漲落和可靠性
2.4.1　晶體管本征參數波動及其對SRAM穩(wěn)定性的影響
2.4.2　時變可靠性問題及其對SRAM穩(wěn)定性的影響
2.4.3　輻射效應造成的軟錯誤
2.5　SRAM版圖和微縮趨勢
2.5.1　6T單元版圖
2.5.2　SRAM微縮趨勢
2.6　基于FinFET的SRAM
2.6.1　FinFET 技術
2.6.2　FinFET時代SRAM的微縮
參考文獻
第3章　動態(tài)隨機存取存儲器（DRAM）
3.1　DRAM概述
3.1.1　DRAM子系統(tǒng)層次結構
3.1.2　DRAM I/O接口
3.2　1T1C DRAM單元操作
3.2.1　1T1C單元的工作原理
3.2.2　電荷共享和感應
3.2.3　DRAM的漏電流與刷新
3.3　DRAM工藝
3.3.1　溝槽電容和堆疊電容
3.3.2　DRAM陣列結構
3.3.3　DRAM版圖
3.4　DRAM微縮趨勢
3.4.1　微縮挑戰(zhàn)
3.4.2　單元電容
3.4.3　互連線
3.4.4　單元選通晶體管
3.5　3D堆疊DRAM
3.5.1　TSV技術與異構集成
3.5.2　高帶寬存儲器（HBM）
3.6　嵌入式DRAM
3.6.1　1T1C嵌入式DRAM
3.6.2　無電容嵌入式DRAM
參考文獻
第4章　閃存（Flash）
4.1　Flash概述
4.1.1　Flash的歷史
4.1.2　Flash的應用場景
4.2　Flash的器件原理
4.2.1　浮柵晶體管的工作原理
4.2.2　浮柵晶體管的電容模型
4.2.3　浮柵晶體管的擦寫機制
4.2.4　嵌入式Flash的源端注入
4.3　Flash的陣列結構
4.3.1　NOR陣列
4.3.2　NAND陣列
4.3.3　Flash陣列的外圍高壓電路
4.3.4　NAND Flash的編譯器
4.3.5　NOR和NAND的對比
4.4　多比特Flash單元
4.4.1　多比特Flash單元的基本原理
4.4.2　增量步進脈沖編程（ISPP）
4.5　Flash的可靠性
4.5.1　Flash的擦寫壽命
4.5.2　Flash的保持特性
4.5.3　Flash的單元干擾
4.5.4　可靠性問題之間的折中
4.6　Flash微縮的挑戰(zhàn)
4.6.1　單元間串擾
4.6.2　電子數量減少問題
4.7　3D NAND Flash
4.7.1　電荷俘獲型晶體管的工作原理
4.7.2　低成本的3D集成方法
4.7.3　3D NAND制造中的問題
4.7.4　第一代3D NAND芯片
4.7.5　3D NAND的最新發(fā)展趨勢
參考文獻
第5章　新型非易失性存儲器
5.1　新型非易失性存儲器概述
5.1.1　新型非易失性存儲器總覽
5.1.2　1T1R陣列
5.1.3　交叉陣列和選通器
5.2　相變存儲器（PCM）
5.2.1　PCM器件機理
5.2.2　PCM的可靠性
5.2.3　PCM陣列集成
5.2.4　3D X-point
5.3　阻變隨機存取存儲器（RRAM）
5.3.1　RRAM器件機理
5.3.2　RRAM的可靠性
5.3.3　RRAM陣列集成
5.4　磁性隨機存取存儲器（MRAM）
5.4.1　MTJ器件機理
5.4.2　場轉變MRAM
5.4.3　STT-MRAM
5.4.4　SOT-MRAM
5.5　鐵電存儲器
5.5.1　鐵電器件機理
5.5.2　1T1C FeRAM
5.5.3　FeFET
5.6　存算一體（CIM）
5.6.1　CIM原理
5.6.2　突觸器件屬性
5.6.3　CIM原型芯片
參考文獻
附錄　名詞對照表