集成微納系統(tǒng)的前沿技術

　　微電子學是一門發(fā)展十分迅猛的學科，同時也是與新興的納米技術等結合十分緊密的交叉學科，因此越來越具有在尺度上是跨微米向納米甚至是深亞納米發(fā)展、在功能上是向著電子、機械以及生物等系統(tǒng)功能的集成方向發(fā)展，同時這也是一門十分典型的實驗學科，需要結合大量的實驗動手才能夠掌握其精髓。所以我們的課程是《集成微納系統(tǒng)實驗班》，這本教材和課程的主旨一樣：主要針對微電子學的發(fā)展及時補充完善微電子學的范疇、同時結合實驗教程來增進學生的感性認識、培養(yǎng)學生的動手能力，彌補絕大多數(shù)同類教材只講授知識、不關注實驗能力且不及時更新其發(fā)展、不配有相應習題的不足，為學生和老師提供一本能夠全面準確掌握微電子基礎知識和能力的教科書。

　　張海霞：：：：：：：張海霞，教授，北京大學微電子研究院。現(xiàn)任全球華人微納米分子系統(tǒng)學會秘書長，全球華人微米納米技術合作網(wǎng)絡執(zhí)行主席，IEEE NTC北京分會主席等。張曉升：：：：：：：張曉升，教授，博士生導師，智能集成微系統(tǒng)實驗室負責人。省青年科技創(chuàng)新研究團隊負責人。長期在微納電子機械系統(tǒng)（MEMS/NEMS）領域開展研究工作，在批量化微納復合制造、新型微納電子器件、自驅(qū)動智能微納系統(tǒng)等重要前沿方向上開展了深入的研究工作，取得了一系列創(chuàng)新研究成果，解決了微納電子器件系統(tǒng)的可控制造和集成一體化的若干難題。楊卓青：：：：：：：楊卓青，教授，博士生導師，上海交通大學研究員。，研究工作主要包括MEMS慣性開關器件、PowerMEMS、納米能源、封裝以及超細柔性纖維/圓管/毛細管等表面的3D MEMS集成制造技術等。先后主持國家自然科學青年基金、面上項目，國家重點研發(fā)計劃課題，國家“863”項目子課題，裝備預研聯(lián)合基金等項目。