化學銑切技術(shù)

第一章緒論 001
第一節(jié)化學銑切的發(fā)展簡史 001
一、從古代到16世紀末 001
二、17～19世紀 002
三、20世紀至今 002
第二節(jié)工藝簡介 003
一、工藝 003
二、典型工藝 004
三、工藝的基本要求 004

第二章化學銑切特點類型及限制因素 006
第一節(jié)化學銑切加工的特點 006
一、化學銑切加工特點 006
二、化學銑切與金屬沖裁的比較 007
三、化學銑切的精度 008
四、化學銑切在加工精密產(chǎn)品方面的應(yīng)用 011
五、化學切割銑切帶的作用 011
六、化學銑切的技術(shù)效益 012
第二節(jié)化學銑切的類型 013
一、整體銑切加工 013
二、選擇銑切加工 014
三、多臺階銑切加工 017
四、錐度銑切 023
五、化學銑切下料 025
第三節(jié)化學銑切在加工方面的限制與難點 026
一、化學銑切最主要的限制 026
二、關(guān)于尺寸的控制問題 028
三、表面粗糙度的限制 030
四、對材料力學性能的影響 031
五、氫脆問題 033

第三章化學銑切的原理及常用化學品的特點038
第一節(jié)化學銑切的原理 038
一、化學銑切的定義 038
二、化學腐蝕 040
三、電化學腐蝕 041
四、金屬腐蝕的條件 042
五、原電池對金屬腐蝕及表面粗糙度的影響 043
六、化學銑切的反應(yīng)過程 043
七、化學銑切中的二控一配 044
第二節(jié)化學銑切常用化學品的基本性質(zhì) 045
一、硫酸（H2SO4） 045
二、硝酸（HNO3） 048
三、鹽酸（HCl） 051
四、氫氟酸（HF） 052
五、磷酸（H3PO4） 053
六、氫氧化鈉（NaOH） 054
七、氯化銅 055
八、無水三氯化鐵 055
九、氟化氫銨 056
十、氟硼酸 057
十一、硝酸銨 057
十二、硝酸鈉 058
十三、過氧化氫 058
十四、氯化銨 059
十五、氯酸鈉（NaClO3） 060
十六、氟化銨（NH4F） 060
十七、氟化氫鉀（KHF2） 061
十八、氟硅酸（H2SiF6） 062
十九、硝酸鐵[Fe(NO3)3] 062
二十、硫酸鐵[Fe2(SO4)3] 063
二十一、過硫酸銨[(NH4)2S2O8] 064
二十二、羥基乙酸（C2H4O3） 064
二十三、其他主要化工原料 065
第三節(jié)腐蝕劑對人體及環(huán)境的危害與防護措施 065
一、腐蝕劑及化學煙霧對操作人員的危害 065
二、突發(fā)事故的緊急救治方法 067
三、硫酸對工作人員的危害及救治措施 068
四、氟化物對環(huán)境的污染及對工作人員的危害與救治 069
五、氮氧化物對工作人員的危害與救治及對環(huán)境的污染 069
六、其他酸堿對工作人員的危害及救治 072

第四章常用材料化學銑切的方法074
第一節(jié)鋁及其合金的化學銑切 074
一、鋁的概況 074
二、鋁合金腐蝕的特點 075
三、通用堿性化學銑切 077
四、改良的堿性銑切液 085
五、鋁合金酸性銑切液 089
六、鋁在酸性銑切液中應(yīng)注意的問題 091
七、溶液再生及舊液中鋁離子的分離 092
八、關(guān)于酸-堿聯(lián)合銑切的方法 095
九、鋁合金零件表面黑灰色膜的處理 096
十、化學銑切后化學拋光及陽極氧化后無鎳封閉問題 096
第二節(jié)銅及其合金的化學銑切 098
一、銅的概況及銑切特點 098
二、三氯化鐵銑切方法 099
三、酸性氯化銅銑切方法 101
四、硫酸-過氧化氫銑切方法 106
五、堿性氯化銅銑切方法 109
六、過硫酸銨銑切方法 111
第三節(jié)不銹鋼及普通鋼的化學銑切 112
一、普通型銑切液 113
二、王水型銑切液 116
三、三氯化鐵的再生 121
第四節(jié)鈦合金的化學銑切 124
一、鈦的基本性質(zhì) 124
二、鈦合金的銑切 125
三、鈦合金銑切液中鈦的回收 130
第五節(jié)其他材料的化學銑切 131
一、其他金屬的化學銑切 131
二、金屬的粗糙化處理技術(shù) 133
第六節(jié)玻璃的化學銑切 135
一、玻璃的簡史 135
二、玻璃的分類及應(yīng)用 136
三、玻璃的化學組成 137
四、玻璃的化學銑切原理及無渣化學銑切的實現(xiàn) 138
五、玻璃的化學銑切方法 138
六、玻璃的化學打砂與化學拋光 139141

第五章表面預(yù)處理及水洗技術(shù)
第一節(jié)表面預(yù)處理 141
一、溶劑清洗 143
二、化學清洗 145
三、電解清洗 150
四、除銹 151
五、金屬表面微粗化及鈍化處理 151
六、酸洗 153
七、水洗 154
八、預(yù)處理質(zhì)量控制 154
第二節(jié)水洗技術(shù) 158
一、水洗的目的 158
二、水洗模型的建立 159
三、連續(xù)給水多級串聯(lián)逆流清洗技術(shù) 162
四、連續(xù)給水串聯(lián)清洗技術(shù)的應(yīng)用 165
五、間隙式多級逆流清洗技術(shù) 167
六、間隙式多級逆流清洗給水量的計算 170
七、連續(xù)式和間隙式給水總量比較 172
八、間隙給水-連續(xù)給水混合清洗系統(tǒng)簡介 173

第六章防蝕技術(shù)175
第一節(jié)照相底片制作 175
一、銀鹽感光片的制作方法 176
二、重氮片簡介 179
三、照相底片的檢驗 180
四、底片圖文線條及外形尺寸的確定 181
五、拼版技術(shù) 182
第二節(jié)防蝕層制作的基本要求 183
一、對防蝕層的要求 183
二、防蝕層制作技術(shù)簡介 184
第三節(jié)絲網(wǎng)印刷圖文防蝕技術(shù) 186
一、絲網(wǎng) 186
二、繃網(wǎng) 191
三、絲網(wǎng)印刷網(wǎng)版的制作 196
四、絲網(wǎng)印刷方法 200
五、絲網(wǎng)印刷線條粗細極限值 204
六、絲網(wǎng)印刷中常見問題與處理方法 205
七、絲印防蝕層的質(zhì)量控制 207
八、絲印后的自檢與互檢 208
第四節(jié)照相制版防蝕技術(shù) 209
一、干膜光致抗蝕劑的分類及結(jié)構(gòu) 210
二、干膜光致抗蝕劑法的技術(shù)條件 211
三、圖文轉(zhuǎn)移工藝流程 214
四、圖形轉(zhuǎn)移常見故障及排除方法 220
第五節(jié)液體光致抗蝕劑法 221
一、液體光致抗蝕劑法工藝過程 222
二、感光圖形轉(zhuǎn)移質(zhì)量控制 225
三、液體光致抗蝕法所需設(shè)備及材料 226
四、常見故障產(chǎn)生原因及排除方法 227
第六節(jié)激光光刻防蝕技術(shù) 229
一、電泳涂裝原理及特點 230
二、電泳涂裝工藝主要參數(shù)控制 230
三、激光光刻 232
四、防蝕層質(zhì)量檢查 233
第七節(jié)刻劃法制作防蝕層 234
一、防蝕層的涂覆 234
二、可用于刻劃的保護材料 237
三、防蝕層的質(zhì)量檢查 237
四、樣板的要求及制作 238
五、圖形刻劃 239
六、刻劃法的質(zhì)量控制 240
七、常見故障產(chǎn)生原因及排除方法 241

第七章化學銑切及實例242
第一節(jié)化學銑切應(yīng)注意的問題 242
一、化學銑切工藝的設(shè)計 243
二、化學銑切前的工作 245
三、關(guān)于化學銑切的速率問題 245
四、化學銑切時間的計算 247
五、化學銑切液選擇的原則 248
六、化學銑切過程的控制 249
七、溶液體積及初始濃度的確定 250
八、化學銑切液的負荷量 251
九、化學銑切方式及化學銑切設(shè)備的選擇 253
十、防蝕層的清除 254
十一、化學銑切常見故障產(chǎn)生原因及排除方法 255
十二、金屬化學銑切前質(zhì)量驗收技術(shù)條件（QJ A 953—1995） 256
十三、金屬化學銑切產(chǎn)品驗收技術(shù)條件(QJ A 954—1995) 257
十四、工藝規(guī)范與工藝編制關(guān)系 258
十五、傳輸式蝕刻機的布局及節(jié)水方法 259
第二節(jié)影響化學銑切質(zhì)量的因素 260
一、表面預(yù)處理及防蝕層對化學銑切的影響 260
二、關(guān)于化學銑切液更換的最優(yōu)化原則及化學銑切加工注意事項 261
三、工藝質(zhì)量控制方法 263
第三節(jié)鋁合金氧化圖文化學銑切加工方法 263
一、工藝流程及工藝過程詳解 264
二、常見故障處理方法 269
第四節(jié)嵌漆圖文化學銑切加工方法 270
一、工藝流程及工藝過程詳解 271
二、常見故障處理方法 275
第五節(jié)化學銑切制程管理及工程管理簡介 276

第八章模具圖文化學銑切283
第一節(jié)模具圖文化學銑切技術(shù) 283
一、模具圖文化學銑切概述 283
二、皮革紋膠片拼版技術(shù) 284
三、圖形轉(zhuǎn)移載體膜 288
四、非水溶性載體膜的制作 289
五、水溶性載體膜的制作 291
六、圖形轉(zhuǎn)移及化學銑切 292
第二節(jié)模具圖文化學銑切制作過程 294
一、模具預(yù)處理 294
二、圖形轉(zhuǎn)移 302
三、修模 309
四、保護與干燥 310
五、顯影（即第二次檢查） 312
六、圖形轉(zhuǎn)移部分常見故障的產(chǎn)生原因及排除方法 314
七、圖形轉(zhuǎn)移常用輔助材料及工具 316
八、模具圖文化學銑切 317
九、化學銑切液的配制及常見問題處理 322
十、模具文字制作 324
十一、模具砂紋腐蝕 327

參考文獻 329