金剛石膜粒子探測器材料

叢書序
前言
第一章 緒論
1．1 金剛石膜的結構
1．2 金剛石膜的優(yōu)異特性
1．3 化學氣相沉積法金剛石膜的制備技術
1．4 金剛石膜在光電領域中的主要應用
參考文獻
第二章 自支撐金剛石膜的制備
2．1 實驗設備及原理介紹
2．2 金剛石膜的制備工藝研究
2．3 自支撐金剛石薄膜的性能
參考文獻
第三章 金剛石膜表面導電性能研究
3．1 引言
3．2 實驗過程
3．3 自支撐金剛石膜的導電性能
3．4 本章小結
參考文獻
第四章 金剛石膜肖特基場效應晶體管
4．1 引言
4．2 金剛石與金屬電極的接觸特性
4．3 MESFET器件制備及性能研究
4．4 本章小結
參考文獻
第五章 金剛石膜紫外光探測器
5．1 引言
5．2 ZnO材料概述
5．3 ZnO制備及測試
5．4 實驗結果與討論
5．5 ZnO/金剛石結構紫外光探測器的性能研究
5．6 本章小結
參考文獻
第六章 金剛石厚膜生長及其在微電子器件中的熱沉應用
6．1 引言
6．2 氧化鋁襯底的碳離子預注入
6．3 氧化鋁上金剛石膜的成核分析
6．4 金剛石的厚膜生長及應力分析
6．5 金剛石薄膜/氧化鋁復合材料性質研究
參考文獻
第七章 納米金剛石膜X射線探測器
7．1 納米金剛石膜的制備和性能表征
7．2 納米金剛石膜粒子探測器工藝及性能表征
7．3 氫刻蝕對納米金剛石膜電學和光學性能的影響
7．4 強磁場下納米金剛石膜生長及性能表征
參考文獻
第八章 金剛石膜α粒子探測器
8．1 CVD金剛石膜粒子探測器的研制
8．2 CVD金剛石膜/硅為基板的微條氣體室研制
參考文獻
……
第九章 粒子探測器讀出電路電子系統(tǒng)
第十章 金剛石膜生物傳感器及在其它光電聲等領域應用