《SiC材料表面處理——飛秒激光微納制備及其瞬態(tài)物理過程》主要介紹了飛秒激光在半導體材料表面快速、高效制備高精度、高質量表面周期微納米結構的方法,通過泵浦-探測技術和飛秒激光多維光場的精準操控,在SiC材料表面制備了高質量的微納米顆粒結構、光柵狀表面周期條紋結構和二維“微島”陣列結構,系統(tǒng)探究了光場操控對材料界面微納米結構的調控機制;分析并討論了表面等離激元與瞬態(tài)折射率光柵超表面在激光誘導表面周期結構形成過程中的重要作用,基于飛秒激光多光束泵浦-探測技術,獲得了超強飛秒激光脈沖輻照半導體材料表面瞬態(tài)物理過程隨時間的演化圖景。