MEMS系統(tǒng)級建模

定　價：￥89.00

作　者：	[德] 塔瑪拉·貝克唐德，加布里爾·施拉格，馮麗紅著，周再發(fā)，李偉華，黃慶安譯
出版社：	東南大學出版社
叢編項：	微納系統(tǒng)系列譯叢
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787564172633	出版時間：	2020-02-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	442	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　《MEMS系統(tǒng)級建模/微納系統(tǒng)系列譯叢》是目前國內(nèi)外敘述微機電系統(tǒng)（MEMS）系統(tǒng)級建模的專著。MEMS技術發(fā)展對快速、高效及合適的設計工具提出了迫切需求，以便優(yōu)化包括MEMS元件、控制和讀出電路以及封裝在內(nèi)的完整系統(tǒng)性能。針對系統(tǒng)設計及優(yōu)化需求，《MEMS系統(tǒng)級建模/微納系統(tǒng)系列譯叢》全面論述了MEMS系統(tǒng)級建模技術，內(nèi)容共分五部分。第一部分介紹了MEMS宏模型建模技術的理論基礎，包括廣義基爾霍夫網(wǎng)絡理論基礎，模型降階技術的理論背景，系統(tǒng)級仿真算法以及協(xié)同仿真。第二部分介紹了基于集總單元的宏模型建模方法及其在電熱執(zhí)行器、RF MEMS器件、封裝效應、分布效應上的仿真應用。第三部分介紹了各種數(shù)學模型降階技術，包括基于矩匹配的線性模型降階技術及其在電熱模型中的應用，基于投影的模型降階技術及其在微流體、RF MEMS開關等模型中的應用，基于模態(tài)疊加的非線性模型降階技術及其在MEMS陀螺儀模型中的應用，靜電執(zhí)行器的線性與非線性模型降階技術。第四部分介紹了完整系統(tǒng)的建模，包括含有壓電換能器、電源管理和儲能組件的能量收集模塊的系統(tǒng)級模型，含有電路的RF MEMS開關和諧振器的系統(tǒng)級模型，含有加速度計、數(shù)字控制器、RF收發(fā)器及電池的系統(tǒng)級模型，含有加速度計、陀螺儀及∑△調(diào)制器的系統(tǒng)級模型。第五部分介紹了商用軟件中的系統(tǒng)級建模與仿真環(huán)境，包括Coventor軟件的MEMS+，ANSYS軟件的MOR for ANSYS，SUGAR，IntelliSuite軟件的SYNPLE，MEMS Pro軟件的SoftMEMSMS，及網(wǎng)絡共享的設計方法?！禡EMS系統(tǒng)級建模/微納系統(tǒng)系列譯叢》由來自8個國家的44名專家撰寫，內(nèi)容豐富，參考文獻全面。適合微機電系統(tǒng)專業(yè)、微電子技術專業(yè)、半導體技術專業(yè)、傳感器技術專業(yè)、機械工程專業(yè)、儀器儀表專業(yè)、物聯(lián)網(wǎng)技術專業(yè)等領域的高年級本科生、研究生及工程技術人員閱讀和參考。

作者簡介

暫缺《MEMS系統(tǒng)級建?！纷髡吆喗?/div>

圖書目錄

第一部分物理和數(shù)學基礎
l 微系統(tǒng)建模概論
1．1 微系統(tǒng)的系統(tǒng)級模型需求
1．2 耦合多物理場微系統(tǒng)
1．3 多尺度建模與仿真
1．4 系統(tǒng)級模型術語
1．5 自動化模型降階方法
1．6 復雜問題處理：參考VLSI范式
1．7 模擬硬件描述語言
1．8 系統(tǒng)級模型的一般屬性
1．9 AHDL的仿真能力
1．10 可組合模型庫
1．11 參數(shù)提取、模型驗證和模型確認
1．12 總結
參考文獻
2 利用廣義基爾霍夫網(wǎng)絡理論的MEMS系統(tǒng)級建?！驹?br />2．1 引言
2．2 微系統(tǒng)特定系統(tǒng)級建模的廣義基爾霍夫網(wǎng)絡
2．2．1 微器件及系統(tǒng)的通用建模方法
2．2．2 從連續(xù)場到宏模型
2．2．3 宏模型推導方法
2．3 應用1：基于物理的靜電驅(qū)動泵的電流體宏模型
2．3．1 膜驅(qū)動的宏模型
2．3．2 閥的宏模型
2．3．3 管道的系統(tǒng)級模型
2．3．4 基于物理的微泵系統(tǒng)級模型
2．3．5 模型校準和參數(shù)提取
2．4 應用2：靜電驅(qū)動RF MEMS開關
2．5 總結
參考文獻
3 利用模型降階法的MEMS系統(tǒng)級建模——數(shù)學背景
3．1 引言
3．2 概述
3．3 數(shù)學基礎
3．3．1 標量、矢量和矩陣
3．3．2 向量空間、子空間、線性無關和基
3．3．3 拉普拉斯變換
3．3．4 有理函數(shù)
3．3．5 范數(shù)
3．4 數(shù)值算法
3．5 線性系統(tǒng)理論
3．5．1 傳遞函數(shù)
3．5．2 對任意兩個不同LTI系統(tǒng)間偏差的測量
3．5．3 可控性和可觀性
3．5．4 實現(xiàn)理論
3．5．5 系統(tǒng)的穩(wěn)定性和無源性
3．6 模型降階方法的基本思想
3．7 矩匹配模型降階方法
3．7．1 矩和矩向量
3．7．2 投影矩陣W和V的計算
3．7．3 展開點的不同選擇
3．7．4 矩匹配MOR方法的發(fā)展
3．8 基于Gramian矩陣的模型降階方法
3．8．1 平衡截斷法的動機
3．8．2 平衡變換
3．8．3 截斷
3．8．4 平衡變換的計算
3．8．5 計算Gramian矩陣的加速方法
3．8．6 擴展到更普遍的系統(tǒng)
3．9 降階模型的穩(wěn)定性、無源性和誤差估計
3．9．1 矩匹配MOR方法的穩(wěn)定性、無源性和誤差界
……
第二部分 MEMS器件的集總單元建模方法
第三部分 MEMS器件的數(shù)學模型降價
第四部分完整微系統(tǒng)建模
第五部分軟件實現(xiàn)