真空裝置

第1章概論1
1.1真空裝置1
1.2真空裝置的特點1
1.3真空裝置的分類2
1.4真空裝置的組成4
1.4.1真空容器（真空室）4
1.4.2真空泵5
1.4.3抽氣機組5
1.4.4真空測量5
1.5真空裝置典型實例6
第2章真空裝置容器14
2.1概述14
2.2真空室的門15
2.3真空室的冷卻16
2.4真空室的觀察窗17
2.4.1觀察窗基本類型18
2.4.2觀察窗設計要點20
2.4.3真空設備常用觀察窗標準21
2.5真空室的電極引入22
2.5.1電極引入部件密封設計要求22
2.5.2電極的結構形式23
2.5.3部標陶瓷金屬封接電極(SJ 1775—81)29
2.5.4國產陶瓷-金屬封接電極30
2.6真空室強度計算31
2.6.1真空室強度計算一般知識31
2.6.2真空室殼體設計34
2.6.3圓筒體加強圈的設計50
2.6.4封頭強度計算55
2.6.5開孔加強設計63
2.6.6法蘭及管道設計70
第3章真空裝置抽氣系統(tǒng)77
3.1真空裝置抽氣系統(tǒng)基本參數(shù)77
3.1.1極限壓力77
3.1.2工作壓力78
3.1.3有效抽速79
3.1.4抽氣時間81
3.2真空系統(tǒng)設計86
3.2.1選泵及配泵86
3.2.2真空系統(tǒng)設計計算實例89
3.3低真空抽氣機組設計94
3.3.1低真空機組的特點94
3.3.2除塵器94
3.3.3低真空機組典型實例96
3.4高真空系統(tǒng)及抽氣機組98
3.4.1高真空系統(tǒng)特點98
3.4.2儲氣罐預抽泵設計99
3.4.3高真空機組主要形式100
3.5超高真空系統(tǒng)及抽氣機組105
3.5.1超高真空系統(tǒng)特點105
3.5.2超高真空系統(tǒng)設計要點105
3.5.3超高真空抽氣機組107
3.5.4蘭州物理研究所對超高真空系統(tǒng)的研究112
3.6極高真空系統(tǒng)113
3.6.1概述113
3.6.2極高真空系統(tǒng)設備研究114
3.6.3極高真空系統(tǒng)運轉規(guī)范116
3.6.4試驗結果與討論117
第4章真空泵119
4.1概述119
4.1.1真空泵的分類119
4.1.2真空泵的技術術語、用途和使用范圍120
4.1.3真空泵的型號及規(guī)格表示法122
4.2往復式真空泵124
4.2.1概述124
4.2.2工作原理124
4.2.3結構特點125
4.2.4主要性能參數(shù)126
4.2.5國家規(guī)定的往復泵型式與基本參數(shù)（摘自JB/T 7675—95）131
4.2.6往復泵的使用與維護131
4.3液環(huán)式真空泵132
4.3.1概述132
4.3.2工作原理133
4.3.3液環(huán)泵的基本類型與結構134
4.3.4液環(huán)泵的基本參數(shù)135
4.3.5液環(huán)泵型式與基本參數(shù)（摘自GB/T 7255—94）137
4.3.6液環(huán)泵使用與維護137
4.4油封式旋轉機械真空泵138
4.4.1概述138
4.4.2工作原理139
4.4.3結構特點141
4.4.4性能參數(shù)145
4.4.5型號與基本參數(shù)（摘自JB/T 6533—97、JB/T 1246—97）149
4.4.6泵的運行和維護150
4.5羅茨式真空泵153
4.5.1概述153
4.5.2工作原理154
4.5.3結構特點155
4.5.4羅茨泵的主要性能參數(shù)157
4.5.5ZJ型羅茨泵的基本參數(shù)(摘自ZB/T 7674—95)160
4.5.6羅茨泵的使用與維護161
4.6渦輪分子泵162
4.6.1概述162
4.6.2渦輪分子泵的工作原理163
4.6.3渦輪分子泵基本結構組成及特點166
4.6.4渦輪分子泵工作特性167
4.6.5渦輪分子泵基本參數(shù)(摘自JB/T 9125—1999)168
4.6.6渦輪分子泵的使用169
4.7油擴散噴射真空泵170
4.7.1概述170
4.7.2結構原理171
4.7.3油擴散噴射真空泵的抽氣特性172
4.7.4油擴散噴射真空泵的設計計算173
4.7.5國產Z型系列及WZ系列油擴散噴射真空泵主要技術性能、特性曲線及
外形尺寸178
4.7.6油擴散噴射泵的運轉183
4.7.7油擴散噴射泵的使用與維護186
4.8油擴散泵187
4.8.1概述187
4.8.2油擴散泵的工作原理188
4.8.3油擴散泵的結構形式和特點189
4.8.4油擴散泵的性能參數(shù)193
4.8.5用油擴散泵獲得超高真空的方法197
4.8.6油擴散泵的使用與維護198
4.9低溫泵200
4.9.1概述200
4.9.2低溫泵的抽氣原理和分類200
4.9.3低溫泵的性能參數(shù)202
4.9.4現(xiàn)代低溫泵的結構及設計208
4.9.5低溫泵的選型方法215
4.10濺射離子泵216
4.10.1概述216
4.10.2濺射離子泵的基本結構和工作原理217
4.10.3濺射離子泵的改進219
4.10.4濺射離子泵的工作特性221
4.10.5濺射離子泵的使用維護223
4.11鈦泵224
4.11.1概述224
4.11.2鈦升華泵工作原理225
4.11.3鈦升華器的結構226
4.11.4電離升華泵228
4.11.5鈦泵的使用和維護230
第5章真空閥門231
5.1概述231
5.2真空閥門的設計與計算要點236
5.2.1對真空閥門的基本要求236
5.2.2真空閥門的設計步驟237
5.2.3真空閥門的密封237
5.2.4真空閥門壓緊裝置及設計計算242
5.2.5閥蓋傳動機構244
5.3真空裝置常用的真空閥門249
5.3.1真空插板閥249
5.3.2高真空擋板閥254
5.3.3高真空蝶閥261
5.3.4電磁真空閥270
5.3.5真空隔膜閥279
5.3.6真空微調閥286
5.3.7真空放氣閥288
5.3.8玻璃真空活塞293
5.3.9典型各類真空閥門結構形式299
第6章真空裝置自動控制308
6.1概述308
6.1.1真空裝置控制308
6.1.2真空自動控制系統(tǒng)的分類308
6.1.3自動控制系統(tǒng)的性能指標309
6.1.4自動控制系統(tǒng)的分析方法310
6.2自動控制元件及裝置311
6.2.1真空繼電器311
6.2.2真空計312
6.3真空裝置自動控制系統(tǒng)315
6.3.1概述315
6.3.2繼電器控制系統(tǒng)315
6.3.3壓力控制儀控制系統(tǒng)316
6.3.4可編程控制器控制系統(tǒng)318
6.3.5計算機控制系統(tǒng)321
第7章真空裝置中的常用制造工藝325
7.1真空裝置的清洗處理325
7.1.1概述325
7.1.2真空裝置元件的清洗方法326
7.1.3清洗的基本程序333
7.1.4非金屬材料的清洗334
7.2真空裝置材料的除氣335
7.2.1材料除氣的基本方法335
7.2.2玻璃及陶瓷材料的除氣339
7.2.3金屬材料的除氣341
7.2.4電真空器件的除氣343
7.2.5超高真空裝置的烘烤除氣344
7.2.6烘烤除氣裝置346
7.3真空裝置常用的焊接技術346
7.3.1真空裝置對焊接工藝的要求346
7.3.2真空焊接的分類346
7.3.3氬弧焊347
7.3.4電子束焊353
7.3.5真空釬焊355
7.3.6真空擴散焊接362
7.4真空裝置金屬——陶瓷封接技術364
7.4.1陶瓷-金屬封接材料364
7.4.2陶瓷-金屬封接形式365
7.4.3陶瓷金屬化封接365
7.4.4真空直接釬焊封接366
7.4.5金屬-陶瓷釬焊應用實例368
參考文獻369