前言
第1章 概論
1.1 泄漏的危害性
1.2 容易產生泄漏的部位及原因
1.3 漏率及其單位
1.4 影響漏率大小的因素
1.5 標準漏率
1.6 允許漏率的計算
1.6.1 動態(tài)真空系統(tǒng)的允許漏率
1.6.2 靜態(tài)真空系統(tǒng)的允許漏率
1.6.3 壓力系統(tǒng)的允許漏率
1.6.4 零泄漏下液體系統(tǒng)的允許漏率
1.7 泄漏檢測工作的內容
1.8 泄漏檢測方法的分類
1.9 泄漏檢測方法的選擇
1.10 示蹤物質的選擇
第2章 泄漏檢測的物理基礎
2.1 基本物理量和概念
2.2 氣體和蒸氣
2.3 飽和蒸氣壓
2.4 真空與大氣層
2.5 真空度及壓力的單位
2.6 真空區(qū)域劃分及其物理特點
2.7 理想氣體的狀態(tài)方程
2.8 氣體分子的平均自由程
2.8.1 平均自由程
2.8.2 單一氣體分子的平均自由程
2.8.3 某種氣體分子在混合氣體中的平均自由程
2.8.4 離子和電子在氣體中的平均自由程
2.8.5 平均自由程與氣體的動力粘度和摩爾質量的關系
2.9 氣體通過漏孔的流動狀態(tài)及其判別方法
2.9.1 氣體通過漏孔的流動狀態(tài)及其特征
2.9.2 氣體通過漏孔流動狀態(tài)的判別方法
2.10 氣體量、氣體通過漏孔的漏率和流導
2.10.1 氣體量
2.10.2 氣體通過漏孔的漏率
2.10.3 漏孔的流導
2.10.4 溫度對漏孔漏率和流導的影響
2.10.5 使用不同示蹤氣體時漏孔漏率或流導的換算
2.11 氣體在固體表面上的吸附與脫附(放氣)
2.11.1 物理吸附
2.11.2 化學吸附
2.11.3 物理吸附與化學吸附的區(qū)別
2.12 氣體通過固體的滲透現象
2.12.1 溶解
2.12.2 擴散
2.13 液體的滲透現象
2.13.1 表面張力與毛細作用
2.13.2 液體的滲透現象
2.14 氣體的擴散作用
2.15 氣體的混合
2.15.1 示蹤氣體在氣體混合物中的分壓力分數
2.15.2 氣體混合物中組分的分層現象
2.15.3 氣體分壓力分數的平衡分布定律與重力的影響
2.15.4 氣體混合物的有效動力粘度
2.16 影響有效最小可檢漏率的因素
2.16.1 影響有效最小可檢漏率的試驗因素
2.16.2 示蹤氣體環(huán)境分壓力分數的影響
2.16.3 用增加壓差的方法改善粘滯流漏孔的檢漏靈敏度
……
第3章 氦質譜檢漏法
第4章 四極質譜計檢漏法
第5章 壓力變化檢漏法
第6章 真空計與離子泵檢漏法
第7章 高頻火花檢漏花
第8章 鹵素檢漏法
第9章 氣泡檢漏法
第10章 滲透檢漏法
第11章 氨檢漏法
第12章 聲波檢漏法
第13章 放射性同體位素檢漏法
第14章 紅外線熱成檢漏法
第15章 稱質量檢漏法
第16章 密閉電子元器件的檢漏
第17章 標準漏孔及其校準方法
第18章 檢漏安全知識
附錄
參考文獻