真空設計手冊

目錄
第一章　真空基礎
一、真空概念和測量單位
（一）真空概念
（二）真空度及測量單位
二、真空區(qū)域劃分
三、大氣
四、真空技術術語（GB／T3163—93）
五、真空技術系統(tǒng)圖用圖形符號
（GB／T3164-93）
（一）真空泵
（二）真空閥門
（三）擋板
（四）阱
（五）除塵、過濾器
（六）真空管路及其連接
（七）壓力測量儀表
（八）真空容器
（九）符號應用示例
六、理想氣體的基本定律及狀態(tài)方程
（一）理想氣體
（二）氣體分子運動論的基本假設
（三）理想氣體的基本定律及狀態(tài)方程
（四）蒸氣
七、理想氣體的壓力、質(zhì)量和密度
（一）理想氣體的壓力
（二）理想氣體的質(zhì)量
（三）理想氣體的密度
八、氣體分子熱運動速度
（一）麥克斯韋速度分布定律
（二）最可幾速度υm
（三）算術平均速度υ
（四）均方根速度υs
（五）氣體中的聲速
九、氣體分子碰撞次數(shù)
（一）氣體分子間的碰撞
（二）氣體分子與容器壁碰撞
（三）蒸發(fā)、凝結(jié)與飽和蒸氣壓
十、氣體分子的平均自由程
（一）單一氣體分子的平均自由程
（二）兩種氣體混合時的平均自由程
（三）多種氣體混合時的平均自由程
（四）在氣體中運動的電子的平均自由程
（五）在氣體中運動的離子的平均自由程
（六）平均自由程與溫度的關系
（七）分子自由程的分布規(guī)律
十一、常壓下氣體的遷移過程
（一）平衡態(tài)與非平衡態(tài)及非平衡態(tài)下的輸運過程
（二）遷移方程
（三）氣體的內(nèi)摩擦（粘滯性）
（四）氣體的熱傳導
（五）氣體的擴散
十二、中、低壓下氣體的遷移過程
（一）中壓下的滑動現(xiàn)象
（二）低壓下氣體的外摩擦（自由分子的粘滯性）
（三）低壓下的熱流逸現(xiàn)象
（四）中壓下的溫度劇增（溫度躍變）現(xiàn)象
（五）低壓下氣體的自由分子熱傳導
十三、吸附
（一）固體與氣體的相互作用
（二）吸附的基本概念
（三）吸附的平衡狀態(tài)——吸附等溫線
（四）吸附的非平衡狀態(tài)——吸附和解吸速率
十四、低壓下的氣體放電現(xiàn)象
（一）氣體的電離
（二）氣體放電
（三）輝光放電
（四）弧光放電
（五）火花放電
（六）電暈放電
（七）高頻放電
（八）潘寧放電
第二章管道流導計算
一、氣體流量、流阻、流導的基本
公式
二、流量單位
三、應用列線圖和曲線計算管道串聯(lián)時的流導和泵的有效抽速
四、氣體沿管道的流動狀態(tài)
（一）湍流
（二）粘滯流
（三）分子流
（四）粘滯一分子流
（五）湍流與粘滯流的判別
（六）粘滯流、粘滯一分子流和分子流的判別
五、粘滯流時孔的流導
六、分子流時孔的流導
（一）圓孔
（二）矩形薄壁窄縫
（三）管道中隔板上的小孔
（四）縮孔
七、粘滯流時管道的流導
（一）圓截面長管
（二）矩形及正方形圓截面短管
（三）截面管道
（四）環(huán)形截面管道
（五）偏心圓環(huán)
（六）橢圓形截面管道
（七）徑向輻射流結(jié)構流導
（八）各種氣體的流導關系
八、分子流時管道的流導
（一）圓截面長管
（二）圓截面短管
（三）環(huán)形截面管道
（四）橢圓形截面管道
（五）錐形管道
（六）扁縫形管道
（七）矩形管道
（八）等邊三角形截面管道
（九）變截面及勻截面管道
（十）彎管
（十一）徑向輻射流結(jié)構的流導
（十二）各種氣體的管道流導關系
九、分子流、粘滯流時對20℃空氣，孔和管道的流導匯總表
十、粘滯一分子流時管道的流導
（一）圓截面管道
（二）矩形截面管道
十一、以克勞辛系數(shù)計算管道流導
十二、擋板的流導一
十三、用傳輸概率計算流導
十四、分子流下復雜管路的流導和傳輸概率
（一）兩截面相同的管道串聯(lián)
（二）兩截面相同的管道中間連接一個大容器
（三）管道與小孔組合后的傳輸概率
（四）兩管道中間有小孔時管路傳輸概率
（五）兩個截面不同的管道串聯(lián)后的傳輸概率
第三章　機械真空泵
一、真空泵型號編制方法
（一）真空泵型號組成
（二）真空泵型號示例
二、往復式真空泵
（一）概述
（二）結(jié)構原理
（三）型式與基本參數(shù)（摘自JB／T7675—95）
（四）國產(chǎn)往復真空泵的技術性能、外形及安裝尺寸
（五）WL系列立式節(jié)能往復真空泵
三、液環(huán)式真空泵
（一）概述
（二）工作原理
（三）型式與基本參數(shù)（摘自JB／T7255—94）
（四）國產(chǎn)水環(huán)式真空泵的技術性能、特性曲線、外形及安裝尺寸
四、水環(huán)一大氣噴射真空泵組
（一）概述
（二）工作原理
（三）國產(chǎn)水環(huán)一大氣噴射真空泵組技術性能、特性曲線、外形及安裝尺寸
五、油封式旋轉(zhuǎn)機械真空泵
（一）概述
（二）工作原理
（三）油封式旋轉(zhuǎn)機械真空泵行業(yè)標準
（四）國產(chǎn)2X型旋片式真空泵的技術性能、特性曲線、外形及安裝尺寸
（五）國產(chǎn)XD、X系列單級旋片式真空泵技術性能、特性曲線、外形及安裝尺寸
（六）國產(chǎn)直聯(lián)旋片式真空泵的技術性能、特性曲線、外形及安裝尺寸
（七）國產(chǎn)2H型滑閥式真空泵技術性能、特性曲線、外形及安裝尺寸
六、羅茨式真空泵
（一）概述
（二）工作原理
（三）ZJ型羅茨真空泵的型式和基本參數(shù)（摘自JB／T7674—95）
（四）國產(chǎn)羅茨泵技術性能、特性曲線、外形及安裝尺寸
七、渦輪分子泵
（一）概述
（二）渦輪分子泵結(jié)構原理
（三）立式渦輪分子泵行業(yè)標準（摘自JB／T 9125—99）
（四）國產(chǎn)F型立式渦輪分子泵技術性能、特性曲線、外形及安裝尺寸
八、干式真空泵
（一）概述
（二）干式旋片真空泵
（三）爪式真空泵
（四）渦旋式真空泵
（五）螺桿式真空泵
九、機械真空泵性能測試標準
（一）容積真空泵性能測試方法（摘自JB／T7266—94）
（二）容積真空泵噪聲測量方法（摘自JB／T 8106—99）
（三）旋片式真空泵性能測試方法（摘自JB／T 6533—97）
（四）滑閥式真空泵性能測試方法（摘自JB／T 1246—97）
（五）渦輪分子泵性能測試方法（摘自GB7774—87）
（六）羅茨真空泵性能測試方法（摘自JB／T 7674—95）
（七）往復真空泵性能測試方法（摘自JB／T 7675-95）
第四章　蒸氣流真空泵
一、概述
二、水蒸氣噴射真空泵
（一）應用范圍
（二）結(jié)構簡述
（三）工作原理
（四）水蒸氣噴射泵真空的幾個重要參數(shù)
（五）水蒸氣噴射真空泵設計要點
（六）水蒸氣噴射真空泵型式及基本參數(shù)（摘自JB／T8540-97）
（七）國產(chǎn)水蒸氣噴射真空泵技術性能
三、油擴散噴射真空泵
（一）概述
（二）結(jié)構原理
（三）油擴散噴射真空泵的抽氣特性
（四）油擴散噴射真空泵的設計計算
（五）國產(chǎn)Z型系列油擴散噴射真空泵主要技術性能、特性曲線及外形尺寸
四、油擴散真空泵
（一）概述
（二）結(jié)構原理
（三）影響油擴散泵性能的因素
（四）提高油擴散泵極限真空的方法
（五）用油擴散泵獲得超高真空的方法
（六）金屬油擴散泵的設計
（七）蒸氣流真空泵行業(yè)標準（摘自JB／T 7265-2004）
（八）國產(chǎn)K、KT型系列高真空油擴散泵主要技術性能、特性曲線及外形連接尺寸
（九）蒸氣流真空泵性能測試方法（摘自JB／T8272.1-96）
第五章　氣體捕集真空泵
一、鈦泵
（一）概述
（二）升華鈦泵和蒸發(fā)鈦泵
（三）彈道式鈦泵
（四）濺射離子泵
二、低溫泵
（一）概述
（二）低溫泵的分類
（三）低溫泵的抽速
（四）低溫泵的極限壓力
（五）低溫泵的熱負荷
（六）低溫泵的啟動時間
（七）低溫泵的工作時間
（八）深冷霜吸氣現(xiàn)象
（九）小型制冷機低溫泵
三、低溫容器
（一）概述
（二）低溫容器的熱流量計算
（三）液氮生物容器（摘自GB 5458—85）
（四）自增壓式液氮容器（摘自ZBB 42004—87）
（五）國產(chǎn)低溫容器的技術性能
四、分子篩吸附泵
（一）概述
（二）分子篩吸附泵的結(jié)構
（三）分子篩吸附泵的計算
（四）影響分子篩吸附泵性能的因素
（五）分子篩在溫度20K以下工作時的吸附性能
（六）分子篩用作干燥劑的性能
（七）國產(chǎn)分子篩吸附泵主要技術參數(shù)
五、鋯鋁吸氣泵
（一）概述
（二）鋯鋁吸氣劑泵結(jié)構及抽氣原理
（三）鋯鋁吸氣帶的工作特性
（四）鋯鋁吸氣泵性能參數(shù)的選擇
第六章　真空密封
第七章　真空元件
第八章　真空室設計
第九章　真空系統(tǒng)設計
第十章　真空裝置
第十一章　真空度測量與真空規(guī)
第十二章　真空系統(tǒng)的氣體分析與分壓測量
第十三章　真空檢漏技術和儀器
第十四章　真空技術常用材料
第十五章　真空技術常用工藝
第十六章　極高真空技術及其應用
附錄
參考文獻