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等離子體表面工程

等離子體表面工程

定　價：￥15.00

作　者：	（德）E·布羅奇特等編；等離子體表面工程譯叢編譯委員會編譯；楊烈宇主編
出版社：	中國科學(xué)技術(shù)出版社
叢編項：	《等離子體表面工程》譯叢
標(biāo)　簽：	等離子體應(yīng)用金屬表面處理

ISBN：	9787504602879	出版時間：	1991-07-01	包裝：
開本：	26cm	頁數(shù)：	272頁	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　本書內(nèi)容包括等離子體技術(shù)的理論、PVD技術(shù)等和等離子體技術(shù)在摩擦領(lǐng)域、微電子學(xué)方面的應(yīng)用及等離子體技術(shù)在測試和表面分析方面的應(yīng)用。

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