電子束離子束技術(shù)

定　價：￥28.00

作　者：	趙玉清編著
出版社：	西安交通大學出版社
叢編項：
標　簽：	電子其他

ISBN：	9787560510859	出版時間：	2002-03-01	包裝：
開本：	23cm	頁數(shù)：	254頁	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　本書主要介紹電子束離子束的產(chǎn)生、引出、加速和偏轉(zhuǎn)的工作原理，物理過程和主要部件等內(nèi)容，并通過電子束離子束在微電子領(lǐng)域中的應用，進一步闡述了它與納米技術(shù)信息相關(guān)的掃描隧道顯微鏡技術(shù)。本書為高等學校微電子技術(shù)專業(yè)的教科書。